掃描電鏡通常需要EDS對元素進(jìn)行分析，今天小編yosoar給大家?guī)��?蔡司掃描電鏡 SmartEDX用于常規(guī)SEM顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案

　　如果單采用SEM成像技術(shù)無法全面了解部件或樣品，研究人員就會借助能譜儀(EDS)來采集元素化學(xué)成份的空間分布信息。

　　1. 針對常規(guī)顯微分析應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化

　　SEM和EDS的搭配使用必須經(jīng)過謹(jǐn)慎細(xì)致的考量。EVO上的SmartEDX非常適用于常規(guī)顯微分析應(yīng)用，尤其對于數(shù)據(jù)重復(fù)性要求高的客戶而言更是理想的選擇。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探頭電流(典型的EVO工作條件)下具有很高的通量。得益于氮化硅窗口的優(yōu)異透過率, SmartEDX更適合于探測到來自輕元素的低能X射線。

　　2. 工作流程引導(dǎo)的圖形用戶界面

　　SmartEDX旨在提高多用戶環(huán)境中的易用性和工作流程重復(fù)性。與其他蔡司工作流程引導(dǎo)的軟件解決方案(如：SmartSEM Touch，ZEN core或EVO 的Shuttle&Find)一樣，SmartEDX軟件易于學(xué)習(xí)，使用直觀，并有助于確保在SEM上執(zhí)行分析任務(wù)的重復(fù)性，尤其是在多個操作者使用該系統(tǒng)的環(huán)境中。

　　3. 全方位的蔡司服務(wù)和系統(tǒng)支持

　　SmartEDX由蔡司提供全方位支持，因此該EDS解決方案非常適合那些希望精簡分析設(shè)備供應(yīng)商數(shù)量的客戶。所有安裝、預(yù)防性維護(hù)、保修、診斷和維修、備件物流以及整個系統(tǒng)服務(wù)合同中的內(nèi)容均由蔡司全面負(fù)責(zé)，為您的SEM分析解決方案提供一站式的的支持。